HPC1100高壓控制器
產品概述
- 產品名稱：高壓控制器
- 產品型號：HPC1100
- 品牌：LIGHTHOUSE美國萊特浩斯
- 采樣流量：28．3L/min
- 粒徑范圍：0.1μm 或更大
- 流速：1.0 CFM
- 輸出壓力：接近大氣壓
- 輸入壓力：30-150 psi
- 尺寸：14.22 x 19.30 x 26.21 cm
設計采用了新技術， 在高壓氣體成分，HPC 1100允許LIGHTHOUSE 0.1μm的粒子計數器對高壓（30-150 psi）的惰性氣體系統提供工藝氣體污染的監測能力。
HPC 1100的不銹鋼設計堅固耐用，可靠，幾乎不需要日常維護和校準。在正常操作過程中，惰性氣體可被回收采樣過程中使用100％的供氣。
產品特色
特征 | 優點 | 應用 | - 可用于任何惰性氣體
- 輕松設置
- 安裝簡單
- 前置流計
- 直觀的用戶控制
- 安靜的操作
- 快速清除和清理
- VCR接頭內部和外部
- 不銹鋼結構
| - 在正常操作過程中的零氣體廢物
- 近常壓輸出
- 低噪聲
- 小尺寸
- 便于系統集成
- 2年保修的
- 較低的擁有成本
| - 工藝鑒定
- 半導體制程監控
- 平板過程監控
- 過程趨勢分析
|
|
|
主要技術參數及性能： | 粒徑范圍 | 0.1μm 或更大 | 流速 | 1.0 CFM | 輸出壓力 | 接近大氣壓 | 輸入壓力 | 30-150 psi | 兼容氣體 | 氮，氬氣，氦氣 | 運行噪音 | <60 db | 外殼 | 不銹鋼 | 材質 | 316L 不銹鋼 | 尺寸 | 5.61” (w) x 7.57” (h) x 10.32” (d) [14.22 x 19.30 x 26.21 cm] | 重量 | 6 lbs (2.7 kg) | 隨機配件 | 采樣管; VCR密封件; 尼龍螺帽；套圈 | 可選件 | 備用采樣管; 14英寸不銹鋼過濾器 (0.5μm, 2μm, 7μm, 15μm) |
|
