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1:1紫外制版鏡頭

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產(chǎn)品型號(hào)GIR-M2000

品牌

廠商性質(zhì)0

所在地北京市

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更新時(shí)間：2025-02-04 09:57:41瀏覽次數(shù)：89次

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北京市高普樂光電科技有限公司

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聯(lián)系人：韓偉（經(jīng)理）

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產(chǎn)品簡介

品牌：高普樂Glopro型號(hào)：GIR-M2000物方視場(chǎng)：21mm X11mm鏡頭焦距/倍率：1X (可微調(diào) 0.1%),調(diào)整后鎖緊.產(chǎn)品特點(diǎn)：產(chǎn)品具有衍射極限的成像質(zhì)量、高分辨力、大視場(chǎng)、小畸變、高性能等優(yōu)勢(shì)。應(yīng)用領(lǐng)域：適用于微電子生產(chǎn)投影式光刻機(jī)等制作工藝。

詳細(xì)介紹

1：1紫外制版鏡頭

　　光刻物鏡是微電子生產(chǎn)投影式光刻機(jī)的核心部件，隨著微電子生產(chǎn)工藝不斷向微細(xì)化、集成化發(fā)展，對(duì)光刻鏡頭的要求越來越高。要求具有衍射極限的成像質(zhì)量、高分辨力、大視場(chǎng)、小畸變，其性能直接決定了光刻機(jī)的圖形傳遞能力。制造光刻鏡頭除了設(shè)計(jì)出一個(gè)成像完善的光學(xué)系統(tǒng)和精選優(yōu)質(zhì)的光學(xué)玻璃外，關(guān)鍵在于光學(xué)加工、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)裝配以及相關(guān)的測(cè)試技術(shù)等。

基本參數(shù)

物方視場(chǎng): 21mm X 11 mm；

放大倍率: 1X (可微調(diào) 0.1%),調(diào)整后鎖緊；

像方尺寸: 21mm X 11 mm；

物方數(shù)值孔徑: 0.25；

物像光路類型：物、像遠(yuǎn)心光路；

物方工作距離: > 75 mm；

設(shè)計(jì)波長范圍: 350~ 415 nm；

透過率: > 85% @ 350nm ~ 420nm；

像質(zhì)要求

所有視場(chǎng)內(nèi)MTF: > 0.3 @ 600 lp/mm；

像方畸變: 0.005%；