2016年11月9日,浙江潔美電子科技股份有限公司訂購了我公司在線納米級光學膜厚儀一臺。
浙江潔美電子科技股份有限公司是一家專業為片式電子元器件(包括被動元件、分立器件、集成電路及LED)配套生產電子薄型載帶、上下膠帶、轉移膠帶(離型膜)等產品的企業,主要產品有分切紙帶、打孔紙帶、不打穿孔紙帶、上下膠帶、塑料載帶及其配套蓋帶、塑料卷盤、轉移膠帶(離型膜)等,實現配套供應,是業內*可為客戶提供薄型載帶整體解決方案的集成供應商。
PSD-2000型在線納米級光學膜厚儀利用光譜相干測量學,用于測量半導體制造過程中的薄膜厚度,以及安裝在半導體制造設備上的APC和薄膜的質量控制,能夠測量單層/多層/涂布層在不透光基板上的厚度,度可達納米級。
PSD-2000型在線納米級光學膜厚儀,其核心部件主要源自于美國Ocean Optics有限公司,其微型光譜儀體積小巧,可對全譜進行快速采集,產品應用廣泛,可用于生化、光電、航空航天、環境保護、安全檢測、農業等行業,可進行 Low-E 玻璃鍍膜檢測,ITO 玻璃鍍膜檢測,PET 涂布在線膜厚檢測,金屬表面涂層檢測,半導體,LCD 膜厚檢測等。
PSD-2000型技術參數:
型號 PSD-2000
可測膜厚范圍 15 nm - 100 um 2nm - 200 um 200nm-3000um
測量可重復性 0.02 μm
測量準確 ±1%
光源 鎢鹵素燈
測量波長 380 - 1050 nm 250 - 1050 nm 900 - 1200 nm
光斑尺寸 約φ1 mm
工作距離 10 mm
可測層數 zui多10層
分析 FFT 分析,擬合分析
測量時間 19 ms/點
外部控制功能 Ethernet
接口 USB 2.0(主單元與電腦接口);RS-232C(光源與電腦接口)
電源 AC100 V — 240 V, 50 Hz/60 Hz
功耗 約330W(2通道)~450W(15通道)