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真空機(jī)械手PINUS-SM11

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更新時(shí)間：2023-06-05 18:46:22瀏覽次數(shù)：412次

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沈陽新松機(jī)器人自動(dòng)化股份有限公司

經(jīng)營模式：經(jīng)銷商

商鋪產(chǎn)品：23條

所在地區(qū)：遼寧沈陽市

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產(chǎn)品簡介

直驅(qū)電機(jī)結(jié)構(gòu)，全新的IO模塊，具有*的防碰撞保護(hù)功能及輸入信號支硬件中斷功能，通過SEMI認(rèn)證。滿足個(gè)性化設(shè)計(jì)支持用戶定制，手臂長度可選，可為客戶提供接口及末端定制服務(wù)。

詳細(xì)介紹

直驅(qū)電機(jī)結(jié)構(gòu)具有更高的真空特性，內(nèi)部結(jié)構(gòu)沒有齒輪，皮帶等部件，系統(tǒng)運(yùn)行的平穩(wěn)性更好，可靠性更高。全新的IO模塊，具有更多的輸出輸入引腳，用戶可以根據(jù)需求配置成互鎖，傳感器檢測等功能。輸入信號支硬件中斷功能。帶有安全區(qū)配置功能和靈敏的碰撞保護(hù)功能，減少用戶誤操作導(dǎo)致的各種損失。帶有大屏幕機(jī)器人示教器，方便調(diào)試人員使用，并支持熱插拔功能。可以根據(jù)客戶應(yīng)用的特殊要求，耐高溫耐腐蝕特性等。

參數(shù)：

本體重量	23.5KG
手臂型式	Single SCARA
適用晶圓尺寸	200mm/150mm/125mm/100mm
負(fù)載	＜500g
軸數(shù)	1
電源輸入	AC電壓:AC208V AC頻率：50HZ/60HZ
電源范圍電壓波動(dòng)范圍	單相交流208V +10%，-15%
節(jié)拍	R axis＜＜3s（Home to Extend 502.5mm）
重復(fù)定位精度	R: ±0.05mm（3σ）
漏率	< 1 x 10^-9 std. cc/sec He
真空度	5X10^-9Torr
行程	530mm
潔凈度	ISO CLASS1
MCBF	>11million cycles
復(fù)合運(yùn)動(dòng)	支持
PC遠(yuǎn)程操作軟件	支持
通信接口	Ethernet/串口
IO互鎖	支持
安全區(qū)	支持
碰撞保護(hù)	支持
認(rèn)證	SEMI S2 /SEMI F47/CE