高精度位置控制 電渦流傳感器

電渦流傳感器KAMAN SMT-9700系統的高精度和高靈活性使得其成為OEM設備的理想選擇。尤其在需要高精度定位的領域有著廣泛的應用空間。系統符合CE和RoHS標準, 可與13種不同的探頭組合,精度可達納米級。
電渦流傳感器SMT是一款專門為客戶定制的OEM產品,可測非導磁體和鐵磁材料,有1、2或3通道可配電渦流傳感器探頭。擁有埃米級分辨率,符合CE和RoHS標準,尺寸小巧,并可配13種電渦流傳感器探頭。同時材料、線性、分辨率、帶寬各種性能可自行優化。
電渦流傳感器應用領域
光學平臺位置測量、半導體和光器件的研磨、半導體模板對齊系統、蒸鍍系統、電子顯微鏡垂直軸定位、原子顯微鏡垂直軸定位、磁懸浮軸控制、部件研磨加工的精確定位、鏡片控制、物質收縮測試測量、機械結構變形探測與測試。
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