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1. 氫氣純度：>99.9995%
2. 氫氣流量：0-500ml/min
3. 氫氣壓力：0.4MPa
4. 零氣流量：0-5000ml/min
5. 烴類含量：<10ppb
6. 零氣壓力：0.1-0.6MPa（無內置空壓機，依靠入口空氣壓力）
7. 零氣露點：<-20℃
8. 顆粒：<0.01μm
9. 工作條件：環境溫度1－40℃，濕度<80%
10. 功率：500W
11. 外型尺寸：600×430×177mm（長×寬×高）
12. 凈重：約15kg
