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上海繪吉電子科技有限公司
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這款小型PECVD，其腔體為 3" dia x 16" L的石英腔體，而且加熱圈在石英腔體內部對樣品進行加熱，此系統配有2通道混氣系統和雙旋機械泵。整套儀器都按放在一個移動架上，以便于實驗操作。等離子腔體內部的溫度可以達到400℃，采用程序化控溫。此款小型廉價的PECVD系統對于薄膜生長和納米線的制作是一款很好的選擇。
| 技術參數 | |
|---|---|
| 等離子源 | ● 等離子體射頻電源：110V 或220VAC, 50/60 Hz, < 100W ● 輸出頻率： 13.56 MHz ● 三檔射頻功率大小： 7.2W. 10.5W 和 18W （可調節） ● 腔體尺寸：3"OD x 2.7"ID x 16" L ● 儀器中帶有一套不銹鋼密封法蘭使得腔體內部的真空度為10^-2 torr（用機械泵）  |
| 滑動法蘭 | ● 有一滑軌法蘭安裝于移動架上，以便于樣品的放入和取出 ● 樣品可以放入加熱線圈內，以達到更好的加熱效率和溫度的均勻性 |
| 加熱圈和溫控系統 | ● 加熱圈尺寸：50mm OD x 40mm ID x 70mm，可使樣品達到的溫度為400℃ ● 加熱圈上套有一2" ID x 75mm L的石英罩，以減小熱量損失 ● 溫控方面:采用PID方式調節溫度，同時可設置30段升降溫程序，控溫精度為： +/-1oC ● 輸入電源： AC 220V, 功率：500W      Coil heater Quartz protective tube Temp. Controller Heating coil Alumina boat |
| 兩通道混氣系統 | ● 混氣箱上安裝有兩個浮子流量計，其量程為10-100SCCM ● 三個機械壓力表：-0.1-0.15 MPa ● 混氣箱上安裝有304不銹鋼針閥 ● 配有三根1/4"的聚四氟乙烯管 ● 混氣箱尺寸: 340Lx300Dx 180H, mm( 13.4"x12"x7") ● 凈重: 14 lbs |
| 真空和氣體接口 | 標準的真空配置有 ● 一套3"的不銹鋼法蘭（上面安裝有KF-25的真空泵接口，一個1/4"卡套接頭和不銹鋼針閥） ● 一根KF25的波紋管（長度為1m)和三KF25卡箍 ● 一個數字式真空顯示計 ● 等離子腔體中可以通入多種惰性性氣體，如N2, Ar, Air ，以及各種混合性氣體 ● 可以調整腔體內的壓力或是進氣流量，確保等離子體達到樣品處 ● （注意：不可通入易燃易爆性氣體） |
| 真空泵 | ● 儀器中配有一雙旋機械真空泵，其抽氣速率為120L/min ● 進氣口為KF25接口，可以使腔體內真空度小于30mTorr |
| 移動架 | 設備中配有一 600L x 600W x 600H（mm)的移動架，整個CVD系統可以安置于其上面 |
| 儀器尺寸 | ● 等離子源： 8.5" H x 10" W x 8" D ● 溫控盒： 4"H x 10"W x 8"D ● 移動架：600 x 600 x 600mm |
| 重量 | 70 lb (包含真空泵) |
| 質保期 | 一年質保期（不包含石英管和密封圈） |
| 質量認證 | CE 認證 |
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