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上海納騰儀器有限公司
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Filmetrics的薄膜電阻測量設備開發源自于有著超過30年經驗的KLA的薄膜電阻計量技術，并由20年臺式測量設備開發經驗的Filmetrics團隊完善了桌面式方塊電阻測量產品。KLA薄膜電阻測量技術包括接觸（4PP）和非接觸（EC）方法。
Filmetrics的R50系列方塊電阻測量儀器可測量沉積在各種基材上的導電片和薄膜，跨越10個數量級范圍電阻率，包括：
半導體晶圓基板
玻璃基板
塑料（柔性）基材
PCB圖案特征
太陽能電池
平板顯示層和圖案化特征
金屬箔
二、主要功能
l 技術規格
Model | Description |
R50-4PP | 四探針測試 自動XY移動臺-100mm*100mm 可實現直接100mm晶圓方塊電阻mapping測量 可放置直徑200mm晶圓樣品 |
R50-EC | 非接觸渦流測試 自動XY移動臺-100mm*100mm 可實現直接100mm晶圓方塊電阻mapping非接觸測量 可放置直徑200mm晶圓樣品 |
R50-200-4PP | 四探針測試 自動XY移動臺-200mm*200mm 可實現直接200mm晶圓方塊電阻mapping測量 |
R50-200-EC | 非接觸渦流測試 自動XY移動臺-200mm*200mm 可實現直接200mm晶圓方塊電阻mapping非接觸測量 |
三、應用
支持廣泛的測量，包括但不限于以下各項：
金屬膜厚度、基板厚度、方塊電阻、電阻率、電導率、多層膜
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