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上海納騰儀器有限公司
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MPI TS300系列是一款具有300mm手動探頭系統的手動探針臺，其手動探頭系統是開放式的，易于使用且具有成本效益且高度準確。該系統專為高達300mm的基板和晶圓的精密分析而設計。它可以配置為支持各種應用，例如故障分析，設計驗證/IC工程，晶圓級可靠性，MEMS，高功率和器件表征和建模。
二、產品描述
1. 單機多應用設計
適用于多種晶圓量測應用，如組件特性描述和建模，晶圓級可靠性 (WLR)、失效分析 (FA)、集成電路工程、微型機電系統 (MEMS) 和高功率 (HP)
2. 工效學設計
方便單手操作的快速釋放拖移氣浮載物臺設計
堅固可承載多達10根DC 或4根RF微定位器的工作臺
三段式工作臺快升把手設計 (contact - separation- loading)，實現高重現性
3. 彈性選配與升級性
另有多種晶圓載物臺可做升級，亦有諸多配件如 DC/RF/mmW 微定位器、光學顯微鏡、影像鏡頭、電磁屏蔽箱等可搭載，以支援應用需求。
三、特點與優勢
1. 空氣階段
TS300的空氣軸承平臺設計，簡單的單手圓盤控制，提供的操作便利性，可實現快速XY導航和快速晶圓裝載，同時不會影響精確和精確的定位能力，并具有額外精細和精確的25x25mm XY-Theta千分尺機芯。
2. 帶探針懸停控制™的壓板提升
測量精度首先取決于接觸質量！高度可重復（1μm）的壓板提升設計具有三個離散位置，用于接觸，分離（300μm）和裝載（3 mm），帶有安全鎖實用程序，這些都是MPI手動探頭系統中的功能的例子。這些功能可防止意外探頭或晶圓損壞，同時提供直觀的控制和準確的接觸定位 這種能力在高頻和高功率應用中尤為重要，以實現最準確的測量結果。
額外的Probe Hover Control™具有懸停高度（50,100或150μm），可輕松方便地探測墊對齊。
3. 高度調整量表
探頭壓板具有25 mm的精細高度調節，以支持各種應用。的1mm精確刻度可直接反饋當前位置。
4. 緊湊和剛性壓板設計
緊湊而堅固的壓板設計可容納多達十個DC或四個RF MicroPositioner，可滿足各種應用要求。
5. 各種夾頭選項
手動系統提供各種卡盤選項，以滿足不同的預算和應用要求。卡盤選擇包括MPI的同軸或三軸夾頭 或各種ERS 熱卡盤 小號支持溫度測量高達300℃ -如實施例用于快速和方便的訪問和操作的熱觸摸控制器的無縫集成。
6. 輔助卡盤
RF卡盤包括兩個內置陶瓷材料的輔助卡盤，用于精確的RF校準。
7. 各種光學和運動選擇
提供多種光學元件 和機芯 ，可選擇用于常見DC / CV應用的立體聲或用于RF配置的單管MPI SZ10或MZ12。甚至高功率光學器件，如Mitutoyo FS70或Motic PSM-1000也可用于故障分析應用。
8. 光學傾斜
作為標準特征或甚至是氣動驅動的90度傾斜，線性Z升降機提供非常方便的設置和易于更換的探頭。
9. 隔振平臺
所有手動系統均包含振動吸收底座，可實現穩定可靠的長期探頭與焊盤接觸，確保可靠的測量結果。在實驗室環境需要大量振動保護的情況下，可選配隔振平臺或工作臺。
10. DarkBox
可用的DarkBox選件提供EMI屏蔽和不透光的測試環境，可用于超低噪聲DC測量。
四、功能參數
1. 規格
2. 探針壓板
3. 非熱卡盤
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