膜厚測量儀

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產(chǎn)品型號F10-RT

品牌

廠商性質(zhì)其他

所在地上海

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更新時間：2025-05-13 09:56:46瀏覽次數(shù)：28次

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上海納騰儀器有限公司

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產(chǎn)品簡介

詳細(xì)介紹

KLA的Filmetrics系列利用光譜反射技術(shù)實現(xiàn)薄膜厚度的精確測量，其測量范圍從nm-mm，可實現(xiàn)如光刻膠、氧化物、硅或者其他半導(dǎo)體膜、有機薄膜、導(dǎo)電透明薄膜等膜厚精確測量，被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域。Filmetrics具有F10-HC、F20、F32、F40、F50、F60-t等多款產(chǎn)品，可測量從幾mm到450mm大小的樣品，薄膜厚度測量范圍1nm到mm級。Filmetrics F10-RT以真空鍍膜為設(shè)計目標(biāo)，只要單擊鼠標(biāo)即可獲得反射和透射光譜。不需要費時改變硬件配置，F(xiàn)10-RT-UV 僅需要透過單擊鼠標(biāo)就能夠同時收集反射與透射光譜，不到一秒鐘的時間，陣列的光譜儀就可以快速的收集到資料。另外，F(xiàn)ilmetrics 專用的Autobaseline 設(shè)計可以減少十倍以上的基準(zhǔn)校準(zhǔn)的參數(shù)讀取時間。只需傳統(tǒng)價格的一小部分，用戶就能進(jìn)行/分析、確定 FWHM 并進(jìn)行顏色分析。可選的厚度和折射率模塊讓您能夠充分利用 Filmetrics F10 的分析能力。測量結(jié)果能被快速地導(dǎo)出和打印。