帶滑動法蘭三溫區CVD系統OTF-1200X-5-III-F3LV

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更新時間：2022-10-29 14:25:35瀏覽次數：274次

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  化學氣相沉積設備（PECVD等）

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沈陽科晶自動化設備有限公司

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產品簡介

詳細介紹

產品簡介：帶滑動法蘭三溫區CVD系統OTF-1200X-5-III-F3LV可以快速加熱至1200℃，并通過調整三個溫區而建立不同梯度的熱場，可進行退火、擴散、在不同氣氛中燒結樣品及CVD等實驗。

產品型號	帶滑動法蘭三溫區CVD系統OTF-1200X-5-III-F3LV
安裝條件	本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：不需要 2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地 3、氣：設備腔室內需充注氣體，需自備氣瓶氣源 4、工作臺：尺寸1600mm×600mm×700mm，承重150kg以上 5、通風裝置：需要
主要特點	1、雙層殼體，配有冷系統，爐體采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料。 2、內爐膛表面涂有美國進口氧化鋁涂層，可以提高反射率和保護爐膛潔凈度。 3、一端法蘭配有滑軌，便于樣品裝卸；另一端法蘭裝有數字真空計。 4、采用三個獨立PID控制器，可以設置30段升降溫程序，設有過熱和斷偶保護功能。 5、已通過CE認證。
技術參數	1、電源：單相AC 208-240V 50/60Hz 7KW （40A保險絲） 2、石英管：外徑Ø125mm，內徑120mm，長1400mm，帶有一對真空密封法蘭 3、加熱元件：摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲 4、加熱區域：溫區I長229mm，溫區II長457mm，溫區III長229mm，總長915mm 5、恒溫區域：三個溫區為同一溫度時為625mm，溫區II為110mm 6、工作溫度：1200℃，連續工作1100℃ 7、升降溫速率：20℃/min 8、控溫精度：±1℃ 9、熱電偶：K型 10、浮子流量計：3個，量程0-100ml/min、0-160ml/min、0-250ml/min 11、數字真空計：10^-4torr
產品規格	尺寸：管式爐1080mm×430mm×600mm；重量：70kg