離子濺射儀4

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更新時間：2024-10-04 20:10:22瀏覽次數：82次

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北京達濟科儀科技有限公司

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產品簡介

離子濺射儀是依據二極(DC)直流濺射原理設計而成的，、可靠、經濟的鍍膜設備

詳細介紹

離子濺射儀是依據二極(DC)直流濺射原理設計而成的，、可靠、經濟的鍍膜設備。

適用于電鏡實驗室的掃描電子顯微鏡（SEM）樣品制備，非導體材料實驗電極制作。

特點：

1. 配置有樣品濺射室真空表和濺射電流表，用以指示、監控儀器狀態；
2. 濺射電流調整控制器、微型真空氣閥。在工作時結合內部自動控制電路很容易控制真空室壓強、電離電流及任意選擇所需要的電離氣體，獲得鍍膜效果；
3. 特殊設計的鐘罩邊緣橡膠密封圈，可保證長期使用不會出現影響樣品濺射室真空度的玻璃鐘罩“崩邊”現象；
4. 陶瓷密封高壓頭比通常采用橡膠密封的更經久耐用；
5. 根據電場中氣體電離特性，采用大容量樣品濺射真空室和相應面積濺射靶，使濺射鍍層更均勻純凈。

配置參數：
1、靶（上部電極）：金：直徑：50mm，厚度：0.12mm
2、真空樣品室：直徑：160mm，高：120mm
3、濺射面積： Ф50mm，放置
4、真空指示表：真空度：≤ 4X10-2 mbar
5、離子電流表：電流：50mA(100mA)
6、定時器：最長時間：900S
7、微型真空氣閥：可連接φ3mm軟管
8、可通入氣體：多種
9、電壓： -1600（-3000）DCV
10、機械泵： 2L/S

關鍵詞：控制器

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