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英福康Transpector XPR3 氣體分析系統,高壓強型四極質譜儀

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產品型號Transpector XPR3

品牌

廠商性質其他

所在地杭州市

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更新時間：2024-05-25 08:55:23瀏覽次數：106次

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產品簡介

Transpector XPR3 提供的 RGA 過程監控功能可以為您提供有關污染級別、除氣級別、氣體純度和設備操作等方面的實時數據。用戶可以根據此信息檢測和診斷問題，從而*大化吞吐量和產量，也可以根據此信息制定更有效的預防性維護計劃，從而延長工具運行時間。

詳細介紹

Transpector XPR3 氣體分析系統

無需復雜壓力轉換的 PVD 過程監控

Transpector XPR3 提供的 RGA 過程監控功能可以為您提供有關污染級別、除氣級別、氣體純度和設備操作等方面的實時數據。用戶可以根據此信息檢測和診斷問題，從而*大化吞吐量和產量，也可以根據此信息制定更有效的預防性維護計劃，從而延長工具運行時間。

Transpector XPR3 是新一代氣體分析系統，可用于基于四極桿的高壓過程氣體分析。它借鑒了之前 INFICON 系統的成功經驗，具有****的靈敏度、準確性和靈活性，可以監控氣相沉積 (PVD) 過程。Transpector XPR3 取得了一系列技術上的突破，無需大型、復雜的壓力轉換設備，即可在 20 mTorr 至超高真空范圍內操作。