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杭州九朋新材料有限責任公司


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集成電路CMP化學機械研磨拋光液漿料

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參   考   價: 60

訂  貨  量: ≥1 Kg

具體成交價以合同協議為準

產品型號

品       牌其他品牌

廠商性質生產商

所  在  地杭州市

聯系方式:沈岳林查看聯系方式

更新時間:2024-09-25 16:21:51瀏覽次數:164次

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經營模式:生產廠家

商鋪產品:199條

所在地區:浙江杭州市

聯系人:沈岳林 (銷售經理)

產品簡介

產品特點

1.分散性好。

2.粒徑分布廣泛:10nm。

3.高純度,有效減小對電子類產品的沾污

4.適合與各種拋光墊、合成材料配合拋光使用。

5.PH、粒徑、穩定離子等可以根據客戶定制。

6.經特殊工藝合成的化學機械拋光液,納米顆粒呈球形,單分散,大小均勻,粒徑分布窄,可獲得高質量的

拋光精度

詳細介紹

拋光過程中具有:

1.高拋光速率,利用大粒徑的膠體二氧化硅粒子達到高速拋光的目的。

2.高平坦度加工,本品拋光是利用SiO2的膠體粒子,不會對加工件造成物理損傷,達到高平坦化加工.

拋光過程后具有:

1.精度可以達到納米級

2.劃傷和挖傷可以達到0/0。

適用于集成電路當中的銅互連工藝制程中銅的去除和平坦化。具有高的銅去除速率,碟型叫陷可調

低缺陷等特性。可應用于邏輯芯片以及3D NAND和DRAM芯片等量產使用。清除集成電路中銅拋光后表面

的拋光顆粒和化學物殘留,以防銅表面腐蝕,降低表面缺陷。

以及用于單晶硅、多晶硅的研磨拋光,存儲器制程和背照式傳感器(BSI)制程等。可定制選擇穩定的選擇

比,去除速率,對氧化物/氮化物的選擇比。硅精拋液系列具有低缺陷的優點。BSI拋光液系列具有理想的

硅和二氧化硅去除速率和選擇比。涵蓋TSV銅/阻擋層S,TSV晶背銅/介質層拋、TSV晶背硅

、TSV晶背硅/銅等。具有高去除速率、選擇比可調等優點。

以及集成電路制造工藝中淺槽隔離的拋光等等


使用方法

使用方法:

1.使用前清理瓶口,以防污染發生。

2.使用時,根據不同行業的需要可用去離子水加以稀釋,調制不同濃度

3.現場需保持清潔無揚塵,防止受到拋光液配制和使用過程遭到污染。

4.循環使用粘度增大時,應予以重新配制新的拋光液,以免損傷工件,降低良率

儲存方法:

1.保持室內陰涼

2.避免敞口長期與空氣接觸。

3.貯存時應避免曝曬,貯存溫度為5-35C

4.低于0°C以上儲存,防止結冰,在零度以下因產生不可再分散結塊而失效

價格實惠:

引進國外生產技術,品質可以媲美進口的產品,有效的避免了進口產品其交貨周期長,價格

昂貴。




關鍵詞:傳感器

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