測量原理本儀器測量原理為直角坐標(biāo)測量法，即通過X軸、Z1軸傳感器，測繪出被測零件的表面輪廓的坐標(biāo)點，通過電器組件，將傳感器所測量的坐標(biāo)點數(shù)據(jù)傳輸?shù)缴衔籔C機，軟件對所采集的原始坐標(biāo)數(shù)據(jù)進(jìn)行數(shù)學(xué)運算處理，標(biāo)注所需的工程測量項目

詳細(xì)介紹

Ø 測量原理

本儀器測量原理為直角坐標(biāo)測量法，即通過X軸、Z1軸傳感器，測繪出被測零件的表面輪廓的坐標(biāo)點，通過電器組件，將傳感器所測量的坐標(biāo)點數(shù)據(jù)傳輸?shù)缴衔?/span>PC機，軟件對所采集的原始坐標(biāo)數(shù)據(jù)進(jìn)行數(shù)學(xué)運算處理，標(biāo)注所需的工程測量項目。

Ø 測量功能

尺寸：包含水平距離、垂直距離、線性距離、半徑、直徑

夾角：包含水平角、垂直角、夾角

位置公差：包含平行度、垂直度

形狀公差：包含直線度、凸度、圓弧輪廓度

輔助生成：包含輔助點、輔助線、輔助圓

Ø 測量范圍

項目	測量范圍	分辨率
驅(qū)動器	100mm	0.2μm
傳感器	25mm	0.05μm
立柱	320mm	-

技術(shù)規(guī)格

技術(shù)參數(shù)	線性精度¹	±（1.5+\|0.2H\|）μm
	圓弧²	±（2+R/8）μm
	角度³	±2′
	直線度⁴	0.8μm/100mm
運動控制	X軸驅(qū)動方式	電動
	Z軸驅(qū)動方式	電動
	X軸驅(qū)動速度	0.1~10mm/s
	Z軸驅(qū)動速度	0.5-10mm/s

注：1、H為水平位置上的測量高度；2、2mm＜R＜10mm的標(biāo)準(zhǔn)球，取樣圓弧夾角為120°；3、60°、90°的角度塊，角邊取樣長度為5mm；4、λc為2.5mm，測量速度為≤0.3mm/s；5、2mm＜R＜10mm的標(biāo)準(zhǔn)球，取樣圓弧夾角為120°6、以上參數(shù)均在20℃±5℃，階梯溫度不超過2℃/h的環(huán)境下測得；7、地面震動RMS

＜50HZ 2.5μm/s /＞50HZ 5.0μm/s。

關(guān)鍵詞：傳感器

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