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北京市卓川電子科技有限公司
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勻膠機 北京擁有30年的勻膠設備制造歷史，熱板的0.3%的溫度均勻性，和勻膠轉速小于0.2rpm轉速精度及可重復性是業內的標準。擁有多項行業內和標準，通過不斷把的技術融入設備中，將繼續成為半導體下一代工藝的者。
擁有30年的勻膠設備制造歷史，熱板的0.3%的溫度均勻性，和勻膠轉速小于0.2rpm轉速精度及可重復性是業內的標準。擁有多項行業內和標準，通過不斷把的技術融入設備中，將繼續成為半導體下一代工藝的者。
型勻膠機
的內部緊湊設計，縮小了設備的尺寸。
PC控制系統，更好的兼容性可無限可變編程設計。
7“控制面板操作系統，更方便操作。
on ®/polyethylene ‘密閉碗’設計可適合各種材料勻膠工藝。
標準配置轉速12000rpm，16000rpm可選
勻膠機主要構造
采用無刷伺服電機，電機設計避免光刻膠等污染物進入電機內部。
機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼、*生銹，便于清洗。
排風和抽氣系統位計于載片臺之底部 （以利于排風效率和勻膠均一性）。
透明可視,耐化學腐蝕的密封蓋（丙烯酸材質），可以在旋涂作業時*隔絕光阻的溢
出有效隔絕有毒氣味的散發。
勻膠機主要性能指標：
主機機箱采用不銹鋼材料（抗化學腐蝕易清潔）
旋涂程序：無限可變，每個步驟可精確到0.1秒
轉動速度：0-12,000rpm（16,000rpm可選）
旋涂加速度：0-30000rpm/sec（空載）
馬達旋涂轉速穩定性能誤差 < ±1%
轉速調節精度<0.2rpm，重復性< 0.2rpm
工藝時間設定： 0-9,999.9 sec/step 0.1 精度
支持wafer尺寸1cm-200mm
旋涂作業均勻性：< ±3% 在6英寸范圍內（需要去除邊緣3毫米區域測量）
設備尺寸 13.25” （33.65 cm） W × 19” （48.26 cm） D × 12” （30.48 cm） H
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