真空室鍍膜指紋顯現柜
產品結構：
A:真空室
A1間歇式馬蹄形前開啟門
- 真空腔體材質，SUS34L不銹鋼板
- 真空腔體表面、內外拋光電解處理
- 真空腔體尺寸：450x450 x400mm
- 14寸強化玻璃觀測窗，內部含有方形防鍍玻璃
- 腔體內部不銹鋼防污襯板
- 腔體粉底烤漆支架
真空室鍍膜指紋顯現柜
B1鍍膜腔體全領域冷陰極真空計
1、真空測量范圍：1000to 5*109torr
2、法蘭形式接頭
3、操作接口：RS232 1/0
4、B2 鍍膜腔體電容式真空計
5、真空測量范圍：1torr 全尺寸范圍
6、法蘭接頭：NW25
- 精確度：0.5%
- 分辨精確度：0.001%
- 壓力限制45Psig
10、輸入功率：+/-15VDC/35MA
11、輸出信號：0---10VCD/10歐姆
12、B3擴散泵抽氣管路真空壓力偵測計
14、額定壓力范圍：0.0—101.3千帕
15、操作/設定壓力范圍：10.0to—103千帕
16、zui大承受壓力：500千帕
17、電源壓力：12to24伏直流電
18、電源消耗≤55Ma
19、NPN集電極開路2路輸出+模擬輸出
C：閥門
1、14寸高真空氣動式主閥門
- 腔體氣動式粗抽閥
- 腔體氣動式前級閥
- 機械泵自動泄氣閥
- 腔體氣動泄氣閥
6、鋅氣動閥+針閥調整器
D：金、鋅蒸發源
1、兩個熱電源開關分別為：220-7.5V，350A
2、10轉精密輸出控制輸出功率
3、4—1/2數字顯示表
4、可程序控制溫度，來控制是否揮發金和鋅
E：膜厚計
- 測量速度：0.1 秒
- 速率顯示分辨率：0.02AL
- 多功能LED和LCE顯示屏
- 變量：6參量每秒
- 操作接口：RS-232
F 載臺:
1. 半圓柱可抽取上掀載臺450*400mm
2. 公轉載臺及調速裝置5—20轉速
G：冰水機
- 冷凍能力：12000熱量/小時
- 誰泵浦馬力：0.5
- 水流速率：30（L/MIN）
- 水箱容量：26L
- 冷媒：R134A
H：軟件功能
- PLC可程序邏輯控制器及12寸彩色觸控式人機屏幕
- 系統控制接口具有參數設定，系統履歷，異常訊息，系統權限登入，自編參數設定，自動/手動抽氣控制等功能選項,所有閥門幫浦互鎖安全保護
- 系統控制權限設定具有低階,中階,高階三種權限模式,分別以不同的操作方式來操作系統
4、系統參數設定具有系統控制權限密碼功能設定,各式閥門延遲開啟,關閉時間,設定及各項異常狀況偵測狀態功能警示設定
