Physik Instrumente (PI) 線性載物臺
PI為微納米測量要求提供了多種線性載物臺定位系統(tǒng)。
納米定位線性平臺可以基于三種不同的原理:帶無摩擦彎曲直線導(dǎo)軌的壓電驅(qū)動器;帶空氣軸承的磁力直線電機;和“無軸承” - 由磁懸浮引導(dǎo)。PI 提供三種解決方案。
微定位電動直線載物臺基于旋轉(zhuǎn)步進和伺服電機或直線電機,由交叉滾子和直線軸承引導(dǎo)。
有幾種類型的驅(qū)動器可供選擇:旋轉(zhuǎn)步進電機,旋轉(zhuǎn)伺服電機(無刷和有刷),帶齒輪箱的伺服電機,用于更高的扭矩/分辨率,磁性直線電機和壓電直線電機。使用壓電直線電機,不需要驅(qū)動絲杠,齒輪和聯(lián)軸器元件,從而減小了尺寸和復(fù)雜性,同時提高了可靠性。壓電電機在靜止時自鎖,提供出色的長期穩(wěn)定性。
位置反饋由線性編碼器或安裝在電機上的旋轉(zhuǎn)編碼器提供。
PI 精選的緊湊型線性載物臺和旋轉(zhuǎn)定位器可在非常小的封裝中提供高精度
空氣軸承
空氣軸承級用于需要無振動運動,速度需要高度恒定,并要求佳角度可重復(fù)性的地方。
空氣軸承可避免摩擦、磨損和間隙效應(yīng)。PIglide 直線軸承、旋轉(zhuǎn)軸承和球面軸承是精密部件,可集成和電動化,適用于 OEM、工業(yè)和研究市場
Physik Instrumente (PI) 線性載物臺