SLM-Series
單頻 ns-激光器
SLM激光器有<12ns的短脈沖輸出，衍射極限光束M2<1.2在8-15KHz的重頻之間。種子激光器輸出帶寬∆ ν < 80 MHz. 這些激光器非常適用于科研應用。
激光器詳細參數(shù)：
| 型號 | SLM-1.06 | SLM-S | SLM-355 | SLM-266 | SLM-213 |
| 波長 | 1064nm | 532 nm | 355 nm | 266 nm | 213 nm |
| 譜寬 | < 80 MHz | < 80 MHz | < 80 MHz | < 80 MHz | < 80 MHz |
| 相干長度 | > 1 m | > 1 m | > 1 m | > 1 m | > 1 m |
| 平均功率 | > 8.0W | > 4.0 W | > 2.0 W | > 500 mW | > 100 mW |
| 脈寬 | < 12 ns | < 12 ns | < 10 ns | < 10 ns | < 8 ns |
| 單脈沖能量 | 800 µJ | 400 µJ | 200 µJ | > 80 µJ | 10 µJ |
| 重頻 | 8 - 15 kHz | 8 - 15 kHz | 8 - 15 kHz | 1 - 20 kHz | 8 -15 kHz |
| M² | < 1.2 | < 1.3 | < 1.3 | < 1.7 | < 1.6 |
| pulse-to-pulse 穩(wěn)定性. | σ < 0.3% | σ <1.0% | σ <2.0% | σ <2.0% | σ <2.5% |
Ixion-193-SLM
IXION-193 SLM是一款單頻全固體激光系統(tǒng)，應用于光學計量，193nm步進光學校準，或者高功率ArF的帶寬控制。激光器系統(tǒng)中心波長在190-194nm,精度0.01nm.
產品特色：
·激光二極管泵浦
·密封封裝
·槽安裝激光二極管
·優(yōu)秀的TEM00光束輪廓
·低pulse-to-pulse波動
·不需維護的熱電管理
·19’’機架電源和冷卻裝置
·Labview驅動
·集成光譜儀為在線波長控制（可選）
應用：
·193nm計量學
·光譜儀校準
·干涉測量法
·的種子注入
詳細參數(shù)：
| 型號 | IXION-193 SLM | |
| 波長 | 193.368 nm | |
| 平均功率 | > 10 mW | |
| 脈寬 | < 10 ns | |
| 單脈沖能量 | 1.6 µJ | |
| 重頻 | 6 kHz | |
| M² | < 1.6 | |
| 光譜線寬 | < 120 MHz ⇔0.015 pm ⇔ 0.004cm-1 | |
| 光譜可調諧性 | > 80 GHz ⇔ 10pm ⇔2.6 cm-1 | |
| 相干長度 | > 1 m |
