簡介

陰極熒光系統(tǒng)（Cathodoluminescence, CL）通常配置在掃描電鏡或透射電鏡中，能夠?qū)崿F(xiàn)形貌觀察、結(jié)構(gòu)和成分分析同陰極熒光光譜的結(jié)合研究，實現(xiàn)全光譜熒光掃描成像。陰極熒光激發(fā)所用的電子束束斑非常小，能量高；相比于光致發(fā)光（ Photoluminescence, PL）陰極熒光具有高空間分辨、高激發(fā)能量、寬光譜范圍、大激發(fā)深度等特點，并能夠?qū)崿F(xiàn)全光譜熒光掃描成像。陰極熒光系統(tǒng)結(jié)合掃描電子顯微鏡能夠在小尺度對半導(dǎo)體材料與器件、熒光材料（地質(zhì)、考古材料）等實現(xiàn)形貌觀察、結(jié)構(gòu)和成分分析同陰極熒光光譜的結(jié)合研究，在半導(dǎo)體、微電子、材料、物理、地質(zhì)、考古等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。特別在微米、納米尺度的半導(dǎo)體量子點、量子線等熒光物質(zhì)的發(fā)光性質(zhì)及電子結(jié)構(gòu)的的研究領(lǐng)域，陰極熒光技術(shù)具有重要的應(yīng)用價值。