從樣品表面改質到清洗的小型臺式等離子清洗機。
用途:
? 高分子材料表面的官能基附與→粘合性、密著性提高。通過氧化反應,在表面生產-OH,>C=O,-COOH等官能基(微量的水分及二氧化碳影響)。
同樣在氮氣等離子體中,氮原子被吸收在表面中,生成-NH2等官能基。
? 晶硅圓蝕刻。
? 材料表面改性(金屬、聚合物、薄膜、陶瓷等)。
? 石棉預處理(膜過濾灰化)。
? 從電子設備到生化市場。
? 低溫灰化(高分子材料、煤炭、食品等)。
? 使用玻璃和PDMS板粘貼PDMS芯片。
? 表面有機物去除。
特點:
? RF為200W的高性能輸出類型(PR200)。
? 由于是尺寸緊湊的臺式機,很小的位置都可以安裝。
? 同步,自動調諧,操作簡單(PR200)。
? 等離子體反應器(灰化設備)(PR200)。
? 同步,自動調諧(PR200)。
產品優勢:
●等離子清洗機清洗效果好,清洗效率高,功率大,應用范圍廣。
●對清洗樣品,沒有任何材質、外觀尺寸等要求。
●等離子清洗過程中,溫升很小,基本可達到常溫處理。
●高效的特制電極,是產生均勻等離子體的保證。
●特制電極和托盤結構,可保證樣品可得到全面有效的清洗。
規格:
型號 | PR200 | PR301 | |||
方式 | DP模式、圓柱形腔體 | ||||
性能 | 發生器功率: | 0-200W | 0-300W | ||
發生器頻率: | 射頻RF13.56Mhz | ||||
發生器匹配方式: | 自動匹配(Auto matching) | 手動匹配(manul)
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構成 | 腔體材質: | 高硼硅玻璃 | |||
腔體內尺寸: | φ100×L160mm | φ118×L160mm | |||
反應氣體: | 一路工藝氣體,可支持氧氣、氬氣、氮氣等非腐蝕性氣體。 | ||||
控制方式: | 半自動控制 | ||||
真空度顯示: | 數字式皮拉尼傳感器,實時顯示腔體內真空度。 | 模擬式壓力表 | |||
配管材質: | SUS不銹鋼以及特氟龍 | ||||
門: | 鉸鏈門 | ||||
外形尺寸: | W350×D400×H500mm | W438×D520×H630mm | |||
真空泵抽速: | 4m3/hour | ||||
電源規格: | AC220V 10A | ||||
重量: | 約25kg | 約34kg | |||
附屬品 |
| 真空管件一套、真空轉接接頭一套、試料托盤一枚。 |