“相變隨機存儲器存儲材料及關鍵技術”通過驗收
12月20日,國家“十一五”863計劃新材料領域“相變隨機存儲器存儲材料及關鍵技術”重點課題通過科技部組織的驗收。科技部高技術研究中心材料處處長史冬梅,以及清華大學潘峰教授、南京大學劉治國教授、華東師范大學孫卓教授、中科院上海技術物理所陸衛研究員、吉林師范大學楊景海教授等驗收專家出席了會議。課題組長、上海微系統所所長助理宋志棠研究員,以及課題組主要成員共計20余人參加了此次會議。
會議由驗收專家組組長潘峰主持。會上,項目負責人宋志棠研究員向與會領導、專家匯報了課題完成情況。驗收專家組在認真審查相關技術文件和資料、全面聽取課題負責人匯報并進行質詢、觀摩由項目團隊自主研制的8Mb相變存儲器試驗芯片音頻演示系統的基礎上,對課題完成情況給予了高度評價。認為課題組圍繞課題任務書規定的預期目標,開展了大量研究工作,獲得了一大批重要科研成果,包括篩選出具有自主知識產權的SiSbTe新型相變材料并進入工程化驗證,建立了8英寸相變存儲器平臺,實現與標準180-130nm CMOS工藝無縫對接,在該平臺上研制出全功能8Mb PCRAM芯片,芯片成品率達到99%以上。
經認真討論,驗收專家組一致認為該課題圓滿完成了合同任務書規定的任務目標與考核指標,同意課題通過驗收。驗收會開始前,參加驗收會的專家領導還現場考察了12英寸相變存儲器工藝平臺。
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