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激光干涉儀原理

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產(chǎn)品型號SJ6000

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更新時間：2018-05-15 16:03:43瀏覽次數(shù)：781次

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深圳市中圖儀器科技有限公司

經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：86條

所在地區(qū)：廣東深圳市

聯(lián)系人：羅健（助理）

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產(chǎn)品簡介

激光干涉儀是以光波為載體，以光波波長為單位的一種計量測試方法，是*的高精度、高靈敏度的檢測手段，在制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。
SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品采用美國進口高穩(wěn)頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)、高精度環(huán)境補償模塊、幾何參量干涉光路設(shè)計、高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)、高性能計算機控制系統(tǒng)技術(shù)，實現(xiàn)各種參數(shù)的高精度測量。通過激光熱穩(wěn)頻控制技術(shù)，實現(xiàn)快速（5~10分鐘）、高精度（0.05ppm）、

詳細介紹

一.SJ6000激光干涉儀概述

激光干涉儀是以光波為載體，以光波波長為單位的一種計量測試方法，是*的高精度、高靈敏度的檢測手段，在制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。

SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品采用美國進口高穩(wěn)頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)、高精度環(huán)境補償模塊、幾何參量干涉光路設(shè)計、高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)、高性能計算機控制系統(tǒng)技術(shù)，實現(xiàn)各種參數(shù)的高精度測量。通過激光熱穩(wěn)頻控制技術(shù)，實現(xiàn)快速(5~10分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗*力強、*穩(wěn)定性好的激光頻率輸出，采用不同的光學(xué)鏡組與激光配合，得到不同的干涉信號，然后通過高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)得到干涉數(shù)據(jù)，將數(shù)據(jù)通過計算機進行顯示和動態(tài)分析。

二.SJ6000激光干涉儀功能

SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品具有測量精度高、測量速度快、zui高測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點。通過與不同的光學(xué)組件結(jié)合，可以實現(xiàn)對直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。在相關(guān)軟件的配合下，還可以對數(shù)控機床進行動態(tài)性能檢測，如可以測量數(shù)控機床的定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度等動態(tài)參量，可以進行機床振動測試與分析，滾珠絲桿的動態(tài)特性分析，驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析等，具有*的精度和效率，而且及時處理數(shù)據(jù)，為機床誤差修正提供依據(jù)。

三.激光干涉儀原理

激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡，然后分成兩道光束，一道光束（參考光束）射向連接分光鏡的反射鏡，而第二道透射光束（測量光束）則通過分光鏡射入第二個反射鏡，這兩道光束再反射回到分光鏡，重新匯聚之后返回激光器，其中會有一個探測器監(jiān)控兩道光束之間的干涉（見圖）。若光程差沒有變化時，探測器會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號。

若光程差有變化時，探測器會在每一次光程變化時，在相長性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號，這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化。