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2023年04月21日 14:34上海智與懋檢測儀器設(shè)備有限公司點擊量:248
精密光學儀器使用環(huán)境工程 精密電子無塵室 高精度測溫模塊
半導體制造潔凈室對溫濕度的要求一般是溫度處于22-28℃ ,濕度在30-50 RH(%)之間。潔凈室運作過程中對相對濕度環(huán)境控制尤為常見。因為相對濕度會對潔凈室總體表現(xiàn)下降有較大影響,比如加速細jun繁殖;人體舒適感不佳,人的汗液可能污染半導體產(chǎn)品;出現(xiàn)靜電荷;加快金屬fu蝕生銹;水汽冷凝污染半導體表面的清潔度;光刻的退化;影響光刻膠附著能力等。
因此,對于半導體潔凈室的溫濕度控制尤為重要。現(xiàn)在的半導體潔凈室系統(tǒng)都會嚴格控制溫濕度、空氣潔凈度和壓差程度等,在室內(nèi)安裝不同的溫濕度傳感器、壓差傳感器等,做到實時監(jiān)測、實時控制。
合肥智測電子目前已經(jīng)建成軟件、硬件研發(fā)實驗室,溫度傳感器組裝和測試生產(chǎn)線,擁有完善的高精度溫度校準能力。
我們的產(chǎn)品被國內(nèi)頭部集成電路設(shè)備和制造企業(yè)采用,具有較強的定制開發(fā)能力。
我們的高精度溫度傳感器變送器等應用于
半導體制造裝備測溫
真空環(huán)境測溫
生物醫(yī)療過程測溫
環(huán)境潔凈工程(精密光學儀器使用環(huán)境工程、半導體制造環(huán)境工程等)
電子工業(yè)工程(精密電子無塵室、精密機械無塵室、注塑涂裝無塵室、激光彩印無塵室)
不同的潔凈室對于溫濕度的要**不同的,主要是根據(jù)加工使用的產(chǎn)品本身的特性來考量。但是有一點,溫濕度不管在任何行業(yè),作為一個環(huán)境因素發(fā)揮著重要的影響力。我們總是運用各種手段進行溫濕度數(shù)據(jù)監(jiān)控,以便達到我們的理想狀態(tài)。
精密光學儀器使用環(huán)境工程 精密電子無塵室 高精度測溫模塊
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